▌型号与厂家

Dimension Icon，BRUKER

▌性能与指标

X-Y方向扫描范围🍆：90um *90um典型值，最小85um

Z方向扫描范围📔：10um典型值，在成像及力曲线模式下𓀒；最小9.5um

垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）

X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS🌕👆🏿，典型成像带宽（达到625Hz）

Z传感器噪音水平（闭环）〰️：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）

整体线性误差（X-Y-Z）🙎‍♂️：0.5% 典型值

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台💁🏻，直径≤210mm, 厚度≤15mm

电动定位样品台（X-Y轴）🦂：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性🧜‍♂️。

显微镜光学系统：五百万像素数字照相机

180um至1465um可视范围

数字缩放及自动对焦功能

控制器：NanoScope V型控制器

工作台：整合所有控制器、结合人体工学设计，提供直接的物理或可视借口

震动隔绝：整体式气动减震台

声音隔绝🤩：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音

▌用途

表征材料的形貌及纳米尺寸，材料的三维图像😡，磁畴的分布，电荷分布，摩擦系数，材料各项异性，杨氏模量，粘附力等信息🚎。

▌联系人及联系方式

王晓工

联系方式

电话： 62784561

E-mail🤷🏽‍♂️：wxg-dce@mail.tsinghua.edu.cn